作為一種測(cè)量?jī)x器，需根據(jù)設(shè)備的使用頻率、被測(cè)品工藝要求定期使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)設(shè)備自身進(jìn)行校準(zhǔn)，以保證設(shè)備自身檢測(cè)精度；我司標(biāo)配的標(biāo)準(zhǔn)漏孔為一種滲氦型真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔，標(biāo)稱(chēng)漏率在1.6E-08級(jí)左右，其年漏率年衰減在5%。它是由離子源、分析器、接收器、真空系統(tǒng)、電子線(xiàn)路及其它電氣部分組成。目前的氦質(zhì)譜檢漏儀基本上都是磁偏轉(zhuǎn)型的。
（1）電泵不舉動(dòng)。審查名目有：電源電壓是否畸形，電門(mén)是否翻開(kāi)，繞組是否斷路或接地，電機(jī)是否過(guò)熱（泵結(jié)冰后是否能啟動(dòng)）。
（2）電泵音調(diào)異樣。審查油位是否適合，油質(zhì)是否變壞，油溫是否＜10℃，油霧過(guò)濾器的入口有無(wú)氣體排出（那末無(wú)氣體排出，更替油霧過(guò)濾器）。
（1）開(kāi)機(jī)2min后壓力批示燈不亮。此時(shí)候子泵未轉(zhuǎn)動(dòng)，即分子泵出口壓力未到設(shè)定值或未檢測(cè)到壓力（通常壓力應(yīng)＜10-3MPa，壓力過(guò)高分子泵將無(wú)奈啟動(dòng)）。因而，重要審查招致壓力過(guò)高的成分。審查的名目有：PI1真空規(guī)管是否有問(wèn)題，分子泵入口是否翻開(kāi)，電泵油是否太臟或電泵是否轉(zhuǎn)動(dòng)，零碎是否有透露。
（2）分子泵減速批示燈不亮。CD2通路板上的保險(xiǎn)絲燒斷，更替保險(xiǎn)絲或?qū)彶槭欠裼卸搪肪跋蟆?/div>
（3）分子泵故障燈亮。審查CD2通路板設(shè)置電門(mén)是否在于R地位，此時(shí)無(wú)須在N地位。審查風(fēng)扇是否停留，那末風(fēng)扇畸形，請(qǐng)和廠(chǎng)家聯(lián)絡(luò)。
3、質(zhì)譜室故障
（1）真絲批示燈不亮。審查真絲開(kāi)要害是否在于開(kāi)放地位（再按一下），審查I/O短接插銷(xiāo)是否儀器前面的接口。
（2）真絲批示燈閃耀。用萬(wàn)用表審查質(zhì)譜室飛行插座1和5接報(bào)柱是否開(kāi)路，若開(kāi)路，更替真絲；若不開(kāi)路，審查接報(bào)柱6是否和其余接頭導(dǎo)通，肅清短路景象.
（3）遙控面板無(wú)壓力批示。審查PI3規(guī)管是否有問(wèn)題。
（4）當(dāng)檢漏結(jié)束時(shí)壓力不上升。審查通路板PO318保險(xiǎn)絲是否有問(wèn)題.
（5）檢漏口壓力＞0.01MPa。電泵油生效或PI3規(guī)管壞.
